[发明专利]一种快速大通量筛选和评价金属缓蚀剂的方法在审

专利信息
申请号: 201710676833.3 申请日: 2017-08-09
公开(公告)号: CN107860946A 公开(公告)日: 2018-03-30
发明(设计)人: 邱日;王利;肖亚梅 申请(专利权)人: 中国船舶重工集团公司第七二五研究所
主分类号: G01Q60/30 分类号: G01Q60/30;B41J3/413;B41J2/21
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 266000 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明提供一种快速大通量筛选和评价金属缓蚀剂的方法,属于金属表面缓蚀剂筛选、评价领域。本发明基于计算机与喷墨打印机喷墨原理的结合,利用计算机设计图样,将至少两种缓蚀剂配成溶液分置于喷墨打印机的不同墨盒中,通过喷墨打印机对缓蚀剂所适用的金属膜表面进行图样打印,干燥后在金属膜表面形成不同配比的缓蚀剂复配体系,之后利用SKP探针技术对金属膜表面进行电位扫描,获得不同配比的缓蚀剂复配体系的表面Volta电位分布,从而明确不同缓蚀剂的最佳配比。本发明以缓蚀剂溶液作为打印用的“墨”,金属膜作为打印用的“纸”,思路新颖,一次能对多个配比组成进行测试,测试效率较高,对缓蚀剂开发、筛选具有重要的科学和实践意义。
搜索关键词: 一种 快速 通量 筛选 评价 金属 缓蚀剂 方法
【主权项】:
一种快速大通量筛选和评价金属缓蚀剂的方法,其特征在于,该方法基于计算机与喷墨打印机喷墨原理的结合,利用计算机设计出不同图样,将至少两种缓蚀剂配成溶液分置于喷墨打印机的不同墨盒中,通过喷墨打印机对缓蚀剂所适用的金属膜表面进行图样打印,干燥后在金属膜表面形成不同配比的缓蚀剂复配体系,之后利用SKP探针技术对金属膜表面进行电位扫描,获得不同配比的缓蚀剂复配体系的表面Volta电位分布,从而明确不同缓蚀剂的最佳配比。
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