[发明专利]基于厚度方向激励剪切波模式的FBAR微压力传感器有效
| 申请号： | 201710678976.8 | 申请日： | 2017-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN107525610B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 马晓鑫;苏淑靖;耿子惠;熊继军;谭秋林 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01L1/10 | 分类号： | G01L1/10 |
| 代理公司： | 14110 太原晋科知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 任林芳 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于微电子器件领域，提出了一种基于厚度方向激励剪切波模式的FBAR微压力传感器，包括硅衬底，硅衬底上表面淀积绝缘层，绝缘层上表面沉积布拉格反射层，布拉格反射层上表面淀积有底电极，AlN压电薄膜设置在底电极和布拉格反射层上方，AlN压电薄膜上表面设置有与底电极形状相同、位置对应的顶电极，压电薄膜上表面还设置有淀积4个微压力敏感层，微压力敏感层对称设置在压电薄膜的边缘处，且与顶电极错位设置，微压力敏感层上键合微压力施加层。本发明具有高Q值和高工作频率的优点，同时还具有高分辨率、高灵敏度、低能耗、高牢固性、低成本的特点，可以广泛应用于微压力传感器领域。 | ||
| 搜索关键词： | 压电薄膜 上表面 微压力 布拉格反射层 敏感层 微压力传感器 底电极 顶电极 硅衬底 淀积 绝缘层上表面 淀积绝缘层 高工作频率 微电子器件 错位设置 对称设置 高分辨率 高灵敏度 电极 边缘处 低成本 低能耗 剪切波 牢固性 施加层 键合 沉积 应用 | ||
【主权项】：
1.一种基于厚度方向激励剪切波模式的FBAR微压力传感器，其特征在于，包括硅衬底（1）、绝缘层（2）、布拉格反射层（3）、底电极（4）、AlN压电薄膜（5）、顶电极（6）、微压力敏感层（7）及微压力施加层（8）；/n所述绝缘层（2）为淀积在硅衬底（1）上表面的SiO2绝缘层，所述绝缘层（2）上表面沉积布拉格反射层（3），所述布拉格反射层（3）上表面淀积底电极（4），所述AlN压电薄膜（5）设置在所述底电极（4）和所述布拉格反射层（3）的上表面，所述AlN压电薄膜（5）上表面设置有与所述底电极（4）形状相同，且位置对应的顶电极（6），所述压电薄膜（5）上表面还设置有淀积4个所述微压力敏感层（7），所述微压力敏感层（7）对称设置在所述压电薄膜（5）的边缘处，且与所述顶电极（6）错位设置，所述微压力敏感层（7）上键合所述微压力施加层（8），所述微压力敏感层（7）用于作为微压力检测时的均匀受力结构，所述微压力施加层（8）用于接收待测压力。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中北大学，未经中北大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710678976.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种自动铺管车
- 下一篇：一种橡胶塑料条拉伸能力检测装置
