[发明专利]压力测量单元及用于涂覆和接触压力测量单元载体的方法在审
申请号: | 201710679770.7 | 申请日: | 2017-08-09 |
公开(公告)号: | CN107727302A | 公开(公告)日: | 2018-02-23 |
发明(设计)人: | D·博洛维斯基;H·赛班德;M·施里兹库斯;S·莱赫伯格;V·诺特曼;S·海姆 | 申请(专利权)人: | 罗伯特·博世有限公司 |
主分类号: | G01L9/00 | 分类号: | G01L9/00;G01L19/00;G01L19/14 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人: | 苏娟,王楠 |
地址: | 德国斯*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及压力测量单元(50)及用于涂覆和接触压力测量单元(50)的载体(52)的方法,以及涉及具有这种压力测量单元(50)的压力传感器机构,该压力测量单元具有构成测量膜(52.1)的载体(52),该测量膜在待检测的压力的作用下变形,其中在载体(52)上施加有测量结构(55),该测量结构检测测量膜(52.1)的变形并且产生至少一个代表所检测的压力的电输出信号,该电输出信号可通过至少一个与接合线(58)接触的第一接合面(56.3)被输出,其中保护层(57)被施加在测量结构(55)上。在此保护层(57)覆盖测量结构(55)和至少一个第一接合面(56.3)并且接合线(58)穿过保护层且与对应的第一接合面(56.3)电气和机械连接。 | ||
搜索关键词: | 压力 测量 单元 用于 接触 载体 方法 | ||
【主权项】:
压力测量单元(50),其具有构成测量膜(52.1)的载体(52),所述测量膜在待检测的压力的作用下变形,其中在所述载体(52)上施加有测量结构(55),所述测量结构检测所述测量膜(52.1)的变形并且产生代表所检测的压力的至少一个电输出信号,该电输出信号能通过与接合线(58)接触的至少一个第一接合面(56.3)输出,其中保护层(57)施加在所述测量结构(55)上,其特征在于,所述保护层(57)覆盖所述测量结构(55)和所述至少一个第一接合面(56.3),并且所述接合线(58)穿过所述保护层且与对应的所述第一接合面(56.3)电气和机械连接。
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