[发明专利]一种全打印制备柔性有机场效应晶体管的方法在审

专利信息
申请号: 201710680149.2 申请日: 2017-08-10
公开(公告)号: CN107437585A 公开(公告)日: 2017-12-05
发明(设计)人: 李胜夏;蓝河 申请(专利权)人: 上海幂方电子科技有限公司
主分类号: H01L51/05 分类号: H01L51/05;H01L51/10;H01L51/40;B41M5/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201612 上海市松江*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种全打印制备柔性有机场效应晶体管的方法,通过喷墨打印的方式,在柔性基底上打印电极,介电层,半导体材料最终制备得出有机场效应晶体管,本方法污染小,能耗低,成本低,工艺简单,材料利用率高,对环境依赖度低。
搜索关键词: 一种 打印 制备 柔性 有机 场效应 晶体管 方法
【主权项】:
一种全打印制备有柔性有机场效应晶体管的方法,包括如下步骤,首先,在柔性基板上喷墨打印栅极电极层;其次,在栅极电极上打印介电层;在介电层上打印源极和漏极层,源极漏极之间留有沟道;随后,在源极漏极层上打印有机半导体层;其特征在于,沟道的长度选自10纳米到1毫米范围之间。
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