[发明专利]一种全打印制备柔性有机场效应晶体管的方法在审
申请号: | 201710680149.2 | 申请日: | 2017-08-10 |
公开(公告)号: | CN107437585A | 公开(公告)日: | 2017-12-05 |
发明(设计)人: | 李胜夏;蓝河 | 申请(专利权)人: | 上海幂方电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L51/05 | 分类号: | H01L51/05;H01L51/10;H01L51/40;B41M5/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201612 上海市松江*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种全打印制备柔性有机场效应晶体管的方法,通过喷墨打印的方式,在柔性基底上打印电极,介电层,半导体材料最终制备得出有机场效应晶体管,本方法污染小,能耗低,成本低,工艺简单,材料利用率高,对环境依赖度低。 | ||
搜索关键词: | 一种 打印 制备 柔性 有机 场效应 晶体管 方法 | ||
【主权项】:
一种全打印制备有柔性有机场效应晶体管的方法,包括如下步骤,首先,在柔性基板上喷墨打印栅极电极层;其次,在栅极电极上打印介电层;在介电层上打印源极和漏极层,源极漏极之间留有沟道;随后,在源极漏极层上打印有机半导体层;其特征在于,沟道的长度选自10纳米到1毫米范围之间。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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