[发明专利]一种准分子激光退火ELA制程质量量测方法与系统有效
| 申请号： | 201710682116.1 | 申请日： | 2017-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN107687937B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 杨慎东;郭连俊;颜圣佑 | 申请（专利权）人： | 苏州精濑光电有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 42104 武汉开元知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄行军 |
| 地址： | 215214 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及ELA制程质量量测技术领域，特别是一种准分子激光退火ELA制程质量量测方法与系统。将刻度尺置于ELA装置下方，使ELA装置输出的线激光落于刻度尺的刻度上，并保证刻度尺上的刻度与线激光垂直；采集激光照射于刻度尺所产生的光信号，并将所述光信号显示输出；观测电信号一段时间，根据电信号的异常与否判断输出激光是否稳定。本发明的准分子激光退火ELA制程质量量测方法与系统成本低廉，不仅能判断输出激光是否稳定，还能判断出导致输出激光不稳定的因素。 | ||
| 搜索关键词： | 刻度尺 输出激光 量测 制程 准分子激光退火 线激光 光信号显示 激光照射 系统成本 输出 垂直 观测 采集 保证 | ||
【主权项】：
1.一种准分子激光退火ELA制程质量量测方法，其特征在于包含步骤：/nS1：提供一刻度尺，使ELA装置输出的线激光垂直照射于刻度尺的刻度上；/nS2：采集激光照射于刻度尺上所产生的光信号并显示输出其信号图像；/nS3：根据一段时间内输出信号的异常与否判断输出激光是否稳定；/n所述刻度尺的基底和刻度线由不同的材料构成，所述ELA装置输出的线激光在所述刻度尺的基底和刻度线上产生的光信号不同。/n
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