[发明专利]石墨烯晶体管及其制备方法、使用方法和自驱动电子皮肤有效
申请号: | 201710683047.6 | 申请日: | 2017-08-10 |
公开(公告)号: | CN109390403B | 公开(公告)日: | 2022-08-26 |
发明(设计)人: | 孙其君;孟艳芳;张弛;赵俊青 | 申请(专利权)人: | 北京纳米能源与系统研究所 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/16;H01L29/43;H01L29/49;H01L21/336;H02N1/04;H02N2/18;A61B5/0205 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 101400 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种石墨烯晶体管及其制备方法、使用方法和自驱动电子皮肤,其中,石墨烯晶体管包括基底层、电极层、石墨烯层及离子凝胶介电层,其中:电极层包括形成于基底层同一表面上独立分布的源极和漏极;石墨烯层位于源极和漏极的上表面,且石墨烯层与源极和漏极接触;离子凝胶介电层位于石墨烯层上表面。本公开采用石墨烯作为晶体管,实现了栅极‑源漏极‑沟道共面的结构,在离子凝胶介质层上直接摩擦提供栅极电压,可以作为自驱动电子皮肤,具有结构紧凑、操作电压低、调控精度高且灵敏性高的特点。 | ||
搜索关键词: | 石墨 晶体管 及其 制备 方法 使用方法 驱动 电子 皮肤 | ||
【主权项】:
1.一种石墨烯晶体管,包括基底层、电极层、石墨烯层及离子凝胶介电层,其中:所述电极层包括形成于所述基底层同一表面上独立分布的源极和漏极;所述石墨烯层位于所述源极和漏极的上表面,且与所述源极和漏极相接触;所述离子凝胶介电层位于所述石墨烯层上表面。
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