[发明专利]一种应用于柔性显示领域的OFET器件有效

专利信息
申请号: 201710683714.0 申请日: 2017-08-11
公开(公告)号: CN109390468B 公开(公告)日: 2021-01-05
发明(设计)人: 陈卉 申请(专利权)人: 电子科技大学中山学院
主分类号: H01L51/05 分类号: H01L51/05;H01L51/30;H01L51/40
代理公司: 成都时誉知识产权代理事务所(普通合伙) 51250 代理人: 沈成金
地址: 528402 *** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明主要研究一种应用于柔性显示领域的有机场效应晶体管(OFET)结构设计,包括:柔性衬底材料PET,在PET上真空蒸镀AL作为栅电极,旋涂聚合物甲基丙烯酸甲酯溶液作为介电层,真空蒸镀有机小分子材料并五苯及有机材料环已基二[N,N(4‑甲基苯基)苯胺]作为有机层,最后真空蒸镀金属金作为源漏电极,有机层采用体异质结结构提高载流子传输能力,定制不同沟道宽长比的源漏电极掩膜板,在其它工艺参数不变的情况下,选择最优的沟道宽长比,进一步提高载流子的传输能力,使得载流子的传输速率能够达到商用标准1cm2/(v.s)。
搜索关键词: 一种 应用于 柔性 显示 领域 ofet 器件
【主权项】:
1.一种应用于柔性显示领域的有机场效应晶体管(OFET),其特征在于,包括:作为柔性衬底的透明聚合物PET,在PET上蒸镀铝作为栅电极,旋涂聚合物甲基丙烯酸甲酯(PMMA溶液)作为介电层,蒸镀有机小分子材料并五苯(pentacene)及有机材料环已基二[N,N(4‑甲基苯基)苯胺](TAPC)作为有机层,最后蒸镀金属金(Au)作为源漏电极,为了进一步提高载流子的传输能力,定制不同沟道宽长比的源漏电极掩膜板。
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