[发明专利]双层微透镜阵列光学元件有效
| 申请号： | 201710686222.7 | 申请日： | 2017-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN107783206B | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 李永春;简弘量 | 申请（专利权）人： | 李永春 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00;G02B3/02 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;安利霞 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是有关一种双层微透镜阵列光学元件，其主要是于一基板的一面具有阵列排列的多个针孔结构，且该基板的两面分别具有一光学微透镜阵列，这些微透镜光学阵列均包含多个对应该多个针孔结构位置的非球面微透镜，本发明双层微透镜阵列光学元件使用时，主要是将经由DMD芯片折射的UV光，由晶基板一面的光学微透镜阵列的多个非球面微透镜分别聚焦在各个针孔结构的位置，并形成一个小光点，而光点会在通过针孔结构之后开始发散，接着再由基板另一面的光学微透镜阵列的多个非球面微透镜重新将光束在聚焦面上获得一个逼近物理绕射极限的极小圆形光点极小的光点。形成的光点阵列可应用于扫描式的无光罩与直写式的曝光微影制程。 | ||
| 搜索关键词： | 双层 透镜 阵列 光学 元件 | ||
【主权项】：
1.一种双层微透镜阵列光学元件，其特征在于，由以下所组成：一基板，该基板一侧表面具有多个阵列排列的针孔结构；一第一光学微透镜阵列，该第一光学微透镜阵列是设于该基板的一面，该第一光学微透镜阵列包括多个分别对应多个针孔结构的第一非球面微透镜；一黏着层，该黏着层是设于该基板相对第一光学微透镜阵列的另一面，该黏着层具有该多个阵列排列的针孔结构；一阻挡层，该阻挡层是设于该基板相对第一光学微透镜阵列的另一面，该阻挡层具有该多个阵列排列的针孔结构，该黏着层是设于该基板及该阻挡层之间；一第二光学微透镜阵列，该第二光学微透镜阵列是设于该基板相对第一光学微透镜阵列的另一面，该第二光学微透镜阵列包括多个分别对应该多个针孔结构的第二非球面微透镜，该阻挡层是设于该黏着层及该第二光学微透镜阵列之间；借此，准直处理过的光束先经由该第一光学微透镜阵列的多个第一非球面微透镜分别聚焦在各个针孔结构的位置，并形成一个小光点于每个针孔结构的位置，而该多个光点在通过针孔结构之后开始发散，接着再由该第二光学微透镜阵列的多个第二非球面微透镜重新将该光束在聚焦面上获得多个逼近物理绕射极限的光点。
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