[发明专利]一种铼钨锑复合基柔性压电薄膜的制备方法

摘要

本发明属于薄膜材料领域，涉及一种铼钨锑复合基柔性压电薄膜的制备方法。本发明提出的制备方法是将苯胺、硝酸铼、钨酸钠、六氟锑酸锂以及纤维素复合，再高温氧化，得复合金属氧化物，再将复合金属氧化物分散在聚甲基丙烯酸甲酯/硅烷偶联剂/丙酮溶液中，然后用甩膜机制膜，退火，得铼钨锑复合基柔性压电薄膜。与现有文献相比，本发明有更好的技术效果，所制备的柔性压电薄膜的压电系数为734pC/N，达常规复合压电材料的7倍以上。

主权项

一种铼钨锑复合基柔性压电薄膜的制备方法，其特征在于具体步骤如下：(1)复合金属氧化物制备；室温下将苯胺与摩尔浓度为1M的硫酸混合，苯胺与硫酸的摩尔比为1∶10，搅拌10分钟；再加入纤维素，苯胺与纤维素的质量比为1∶1，搅拌20分钟；然后冷却至0℃，然后依次加入硝酸铼、钨酸钠、六氟锑酸锂，硝酸铼、钨酸钠、六氟锑酸锂与苯胺的摩尔比分别为1∶1、2∶1、1.5∶1，继续搅拌2小时；再滴加摩尔浓度为1M的过硫酸铵溶液，苯胺与过硫酸铵的摩尔比为10∶1，继续搅拌2小时；过滤，固体用蒸馏水洗涤、再抽滤，反复洗涤、抽滤4次，至滤液为中性，固体放置于马弗炉中，加热至100℃，维持2小时；再加热至200℃，维持1小时；再加热至350℃，维持1小时，最后加热至500℃，维持1小时，冷却，得复合金属氧化物；(2)铼钨锑复合基柔性压电薄膜制备；用球磨机将复合金属氧化物粉碎成400目的颗粒，将复合金属氧化物分散到γ‑甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷/聚甲基丙烯酸甲酯/丙酮的混合溶液中，混合溶液中聚甲基丙烯酸甲酯的重均分子量为15000，各组分的质量比为γ‑甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷/聚甲基丙烯酸甲酯/丙酮为1∶20∶200，复合金属氧化物与混合溶液的质量比为1∶20，搅拌2小时，得复合金属氧化物浑浊液；将复合金属氧化物浑浊液加到甩膜机中，转速为3000转/分钟，旋转10分钟，得金属氧化物复合薄膜，然后将金属氧化物复合薄膜原位加热至80℃退火2小时，110℃退火1小时，130℃退火1小时，冷却至室温，得铼钨锑复合基柔性压电薄膜，用薄膜厚度测量仪测试压电薄膜厚度，用压电系数d33测试仪测试压电薄膜的压电系数，以弯曲试验机测试压电薄膜的弯折次数。