[发明专利]一种降低硅片镀膜白斑片的退火方法

摘要

本发明公开一种降低硅片镀膜白斑片的退火方法，太阳能电池制备技术领域，依次包括升温、稳定、恒温、冷却四个步骤，其特征在于，所述恒温步骤的参数确定方法包括以下步骤：第一步，对刻蚀后的硅片进行退火加工，将加工所得的物料通过测试机进行方阻测试，确认退火方案可行；第二步，将第一步退火加工所得的物料进行亲水测试A，确认二氧化硅层均匀，进而确认退火方案可行；第三步，通过DOE实验B确认影响镀膜白斑片主要因子为退火温度和氧气流量，得到最佳主要因子组合值，通过方阻测试和亲水测试确定退火工艺的可行性，再通过DOE实验确定最优的因子组合值，方便操作，准确率高。

主权项

一种降低硅片镀膜白斑片的退火方法，依次包括升温、稳定、恒温、冷却四个步骤，其特征在于，所述恒温步骤的参数确定方法包括以下步骤：第一步，对刻蚀后的硅片进行退火加工，将加工所得的物料通过测试机进行方阻测试，确认退火方案可行；第二步，将第一步退火加工所得的物料进行亲水测试A，确认二氧化硅层均匀性，进而确认退火方案可行；第三步，通过DOE实验B确认影响镀膜白斑片主要因子为退火温度和氧气流量水平值，得到主要因子的最佳水平组合值。