[发明专利]一种双面掺杂的高效太阳能电池及其制作方法

摘要

本发明提供了一种双面掺杂的高效太阳能电池及其制作方法，包括硅片(1)，所述硅片(1)正面设置正栅线电极(8)，背面设置背金属电极(9)；所述正栅线电极(8)和背面设置背金属电极(9)下，分别进行区域掺杂。本发明的双面掺杂的高效太阳能电池利用区域掺杂的工艺，大大提高了电池光电转化效率，且正反面电极设置合理，导电性良好，成本低。

主权项

一种双面掺杂的高效太阳能电池，包括：硅片(1)，其特征在于，所述硅片(1)正面设置正栅线电极(8)，背面设置背金属电极(9)；所述硅片(1)正面全面轻掺杂形成pn结发射极(2)后镀设正面钝化减反射层(4)，所述正栅线电极(8)在硅片(1)上的对应位置设置正面掺杂浆料区于正面钝化减反射层(4)上，在正面掺杂浆料区烧蚀开槽形成发射极重掺杂区(6)，且所述正栅线电极(8)设置至重发射极掺杂区(6)上；所述硅片(1)背面全面轻掺杂形成轻掺杂区(3)后镀设背面钝化减反射层(5)，所述背金属电极(9)在硅片(1)上的对应位置设置背面掺杂浆料区于背面钝化减反射层(5)上，在背面掺杂浆料区烧蚀开槽形成重掺杂区(5)，且所述背金属电极(9)设置至重掺杂区(7)上。