[发明专利]飞秒激光在石英玻璃内部烧蚀微通道的方法有效
| 申请号： | 201710693874.3 | 申请日： | 2017-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN107243698B | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 王福斌;刘洋;曾凯;陈至坤 | 申请（专利权）人： | 华北理工大学 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/50 |
| 代理公司： | 唐山永和专利商标事务所 13103 | 代理人： | 张云和 |
| 地址： | 063210 河北省唐山*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种飞秒激光在石英玻璃内部烧蚀微通道的方法，包括以下步骤：（1）激光束焦点运动轨迹设定，设定激光束焦点的运行路径，使其与石英玻璃表面夹角为45°且沿直线运动；（2）调节激光的不同功率，（3）测量不同功率激光束焦点在石英玻璃表面烧痕的长度，该长度即为该功率在石英玻璃内部烧蚀的深度；（4）根据需要烧蚀的深度，利用（3）所测得的数据对应关系，即可得知所需要的功率。通过上述方法，可以将较难测量深度转化为易测量的表面长度，并建立激光功率与烧蚀深度之间的对应关系。 | ||
| 搜索关键词： | 烧蚀 石英玻璃 石英玻璃表面 激光束焦点 飞秒激光 测量 微通道 功率激光束 激光功率 深度转化 数据对应 运动轨迹 运行路径 夹角为 烧痕 激光 焦点 | ||
【主权项】：
1.一种飞秒激光在石英玻璃内部烧蚀微通道的方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）激光束焦点运动轨迹设定，设定激光束焦点的运行路径，使其与石英玻璃表面夹角为45°且沿直线运动；（2）调节激光的不同功率，（3）测量不同功率激光束焦点在石英玻璃表面烧痕的长度，该长度即为该功率在石英玻璃内部烧蚀的深度；（4）根据需要烧蚀的深度，利用（3）所测得的数据对应关系，即可得知所需要的功率。
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