[发明专利]一种消除金刚石复合片残余应力的方法

摘要

本发明公开了一种消除金刚石复合片残余应力的方法，包括以下步骤：将金刚石复合片于真空加热炉内，抽真空至炉内压力小于5×10^‑2Pa，开始进行梯度升温并充入混合气体，最终使炉内温度为560~800℃、炉内压力为1~3MPa，并保持60~180分钟，待炉内温度降至80℃以下，排出炉内气体，取出金刚石复合片；所述混合气体是氮气中混有少量氢气、甲烷及二氧化碳。本发明保持炉内一定压力来抑制金刚石在高温下的石墨化倾向，通过温度调节金属成分应力，通过甲烷分解产生的微量碳原子沉积现象充填金刚石裂隙；有效地降低或消除金刚石复合片内部的残存应力，从而提高金刚石复合片刀具的成品率，延长刀具的使用寿命。

主权项

1.一种消除金刚石复合片残余应力的方法，其特征在于，包括以下步骤：将金刚石复合片置于真空加热炉内，抽真空至炉内压力小于5×10‑2 Pa，开始进行梯度升温，在梯度升温的过程中向炉内充入混合气体，最终使炉内温度为560~800℃、炉内压力为1~3 MPa，并保持60~180分钟，停止加热，待炉内温度降至80℃以下，排出炉内气体，取出金刚石复合片；其中，所述混合气体由以下体积百分比的组分组成：氢气 0.1~3%、甲烷 1.0~8.0%、二氧化碳0.1~1.5%，余量为氮气；所述梯度升温的过程为：首先于20~40分钟内由室温升温至190~210℃，并保温5~20分钟；然后于20~40分钟内升温至390~410℃，并保温20~40分钟；最后于30~60分钟内升温至560~800℃。