[发明专利]一种蒸镀复合金属膜层用的子母坩埚装置有效
| 申请号： | 201710695440.7 | 申请日： | 2017-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN107267923B | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 应世强;尹忠乐;李术杰 | 申请（专利权）人： | 佛山市南海区晶鼎泰智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州科粤专利商标代理有限公司 44001 | 代理人： | 方萤玉;莫瑶江 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明开发了一种蒸镀复合金属膜层用的子母坩埚装置，包括基座，其特征是：在基座上设有母坩埚和若干个子坩埚模块；所述基座上预留有母坩埚安装槽，所述母坩埚安装在所述母坩埚安装槽中；所述的若干个子坩埚模块是围绕母坩埚的外轮廓均布在基座上的；每个所述的子坩埚模块包括子坩埚底座、子坩埚、电子枪和驱动缸；所述子坩埚底座铰接在所述基座的表面；所述子坩埚和电子枪均固定在所述子坩埚底座表面，所述驱动缸的推杆连接在所述子坩埚的底部；所述子坩埚可相对基座在母坩埚的外周上方翻转；每个所述的子坩埚与母坩埚之间均设有倾斜于基座的表面设置的引流槽。该发明具有制备高效、膜层均匀和人成本低等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 金属膜 子母 坩埚 装置 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀复合金属膜层用的子母坩埚装置，包括基座，其特征是：在基座上设有母坩埚和若干个子坩埚模块；所述基座上预留有母坩埚安装槽，所述母坩埚安装在所述母坩埚安装槽中；所述的若干个子坩埚模块是围绕母坩埚的外轮廓均布在基座上的；每个所述的子坩埚模块包括子坩埚底座、子坩埚、电子枪和驱动缸；所述子坩埚底座铰接在所述基座的表面；所述子坩埚和电子枪均固定在所述子坩埚底座表面，所述驱动缸的推杆连接在所述子坩埚的底部；所述子坩埚可相对基座在母坩埚的外周上方翻转；每个所述的子坩埚与母坩埚之间均设有倾斜于基座的表面设置的引流槽；所述引流槽的一端倾斜地延伸至母坩埚上方，另一端朝向子坩埚；所述子坩埚可相对基座翻转至引流槽的上方。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佛山市南海区晶鼎泰智能科技有限公司，未经佛山市南海区晶鼎泰智能科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710695440.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种平面式蒸发源以及蒸镀装置
- 下一篇：一种蒸发源和蒸镀装置
- 同类专利
- 专利分类
