[发明专利]一种隧道磁阻非谐振式三轴MEMS陀螺在审
| 申请号： | 201710695564.5 | 申请日： | 2017-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN107421525A | 公开（公告）日： | 2017-12-01 |
| 发明（设计）人： | 李孟委;丁希聪;秦世洋;王威;李秀源 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656 |
| 代理公司： | 深圳市兴科达知识产权代理有限公司44260 | 代理人： | 杨小东 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 一种隧道磁阻非谐振式三轴MEMS陀螺，主要结构由键合基板、支撑框架、敏感质量块、检测梁、连接块、检测磁体、隧道磁阻元件、信号线组成，在支撑框架上设置敏感质量块、检测组合梁，在敏感质量块上设置检测磁体，检测组合梁由检测梁、连接块组成，隧道磁阻元件设置于键合基板凹槽上并与敏感质量块上方检测磁体相对应，对微弱磁场变化具有高灵敏特性，此陀螺结构设计合理、简单，无需驱动，易单片集成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 隧道 磁阻 谐振 式三轴 mems 陀螺 | ||
【主权项】：
一种隧道磁阻非谐振式三轴MEMS陀螺，其特征在于，所述三轴MEMS陀螺应用隧道磁阻效应进行角速率检测，所述三轴MEMS陀螺包括：作为载体的键合基板，所述键合基板内侧面固定设置有隧道磁阻元件，所述隧道磁阻元件实时检测磁场变化的信号；与所述键合基板固定的支撑框架，所述支撑框架对应隧道磁阻元件的正上方位置设置有检测组合梁，所述检测组合梁包括检测梁、连接块；所述检测梁为至少一层弯曲折叠的细长梁结构，并通过所述连接块连接所述支撑框架，检测三轴MEMS陀螺离心力位移，增大检测位移的灵敏度。
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