[发明专利]蒸镀腔体、蒸镀设备及蒸镀方法有效
| 申请号： | 201710702397.2 | 申请日： | 2017-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN107435136B | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 魏锋;李金川;谭伟 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24;C23C14/04;C23C14/56;C23C14/12 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公布了一种蒸镀腔体，所述蒸镀腔体包括密封腔及位于所述密封腔内的固定装置与蒸镀源装置，所述固定装置包括旋转单元与蒸镀单元，所述蒸镀单元包括至少两个固定位，所述固定位用于固定和贴合基板与掩膜板，所述蒸镀单元转动连接所述旋转单元，所述蒸镀单元用于将所述基板与所述掩膜板转动至面对所述蒸镀源装置，所述固定装置通过所述旋转单元相对所述蒸镀源装置旋转，以使所述蒸镀源装置旋转蒸镀蒸镀源至所述基板。本发明还公布了一种蒸镀设备和蒸镀方法。节约了对位、贴合、分离、传输等步骤的时间，提高了蒸镀节拍，大幅减少持续输出的蒸镀源的闲置时间，提高蒸镀源使用率，降低生产材料成本，设备产出率高。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀腔体 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀方法，其特征在于，包括：提供蒸镀设备，所述蒸镀设备包括传送系统与蒸镀腔体，所述蒸镀腔体包括密封腔及位于所述密封腔内的固定装置与蒸镀源装置，所述固定装置包括旋转单元与蒸镀单元，所述蒸镀单元包括至少两个固定位，所述蒸镀单元转动连接所述旋转单元，所述固定装置通过所述旋转单元相对所述蒸镀源装置旋转，所述传送系统传输至少两个基板至所述蒸镀腔体，每个所述基板固定于一个所述固定位；贴合所述基板与对应的掩膜板；所述旋转单元相对所述蒸镀源装置旋转，以使所述蒸镀源装置旋转蒸镀蒸镀源至面对所述蒸镀源装置的所述固定位的所述基板；转动所述蒸镀单元，切换面对所述蒸镀源装置的所述固定位，并旋转所述旋转单元进行蒸镀；待全部所述基板蒸镀完成后，所述传送系统将所述基板移出所述蒸镀腔体。
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