[发明专利]一种用于化学气相沉积的反应设备

摘要

本发明公开了一种用于化学气相沉积的反应设备，其技术方案要点是包括炉罐、可拆卸连接于炉罐上的炉盖、加热系统、设置在炉盖上的预抽真空系统、冷却系统以及气流循环系统，利用预抽真空系统对炉罐内抽真空，打开冷却系统，利用加热系统升温，直至渗剂中的氯化物开始分解，与铝粉反应形成Al_xCl_y、HCl等气态化合物，气态化合物与热态的叶片表面发生反应，在叶片与气态化合物接触的表面形成金属化合物渗层；同时，在气流循环系统的作用下，气态化合物沿着叶片复杂的内腔与外表面反复流动，从而在叶片表面形成质量稳定的渗层。

主权项

1.一种用于化学气相沉积的反应设备，其特征在于，包括：炉罐(1)、可拆卸连接于炉罐(1)上的炉盖(2)、加热系统、预抽真空系统(3)、冷却系统(4)以及气流循环系统(5)；所述炉罐(1)内设有凸出于炉罐(1)底部的工装(6)以及环设在工装(6)圆周方向的导风筒(7)，所述工装(6)的侧壁上设有第一通孔(611)；所述炉盖(2)上设有延伸向炉罐(1)内的搅拌风扇(8)、与导风筒(7)相对接的托板(9)，所述托板(9)上设有第二通孔(91)；所述托板(9)、导风筒(7)与工装(6)围合形成风道一(10)，所述导风筒(7)外壁与炉罐(1)内壁之间形成风道二(11)，搅拌风扇(8)在旋转过程中形成气流，气流沿着风道二(11)、风道一(10)、风道二(11)的路径构成气流循环系统(5)；所述预抽真空系统(3)包括炉盖连接管(12)、与炉盖连接管(12)相连通的真空过滤装置(13)，所述真空过滤装置(13)上连接有用于抽气的机械泵(14)；所述冷却系统(4)包括冷却管路(15)，所述冷却管路(15)凸出于炉盖(2)的上表面且沿着炉盖(2)的圆周方向环设，所述冷却管路(15)的侧壁上设有用于与外接冷却水相连的进水嘴(16)与出水嘴(17)。