[发明专利]基于阈值小波变换的白光反射动态测量薄膜厚度方法在审
| 申请号： | 201710705416.7 | 申请日： | 2017-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN107504910A | 公开（公告）日： | 2017-12-22 |
| 发明（设计）人： | 郑永军;卫银杰;顾海洋;柳滨;孔明 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 杭州奥创知识产权代理有限公司33272 | 代理人： | 王佳健 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于阈值小波变换的白光反射动态测量薄膜厚度方法。该方法将白光反射率谱信号进行三层小波分解，然后抽取各层近似系数和细节系数后用默认阈值进行去噪处理，最后通过求取白光反射率谱的特征值，即反射率的最小值进行快速判断从而求出薄膜厚度。本发明增强了对待测膜厚测量的准确度和速度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 阈值 变换 白光 反射 动态 测量 薄膜 厚度 方法 | ||
【主权项】：
基于阈值小波变换的白光反射动态测量薄膜厚度方法，其特征在于，包括如下步骤：1)令白光的光源近垂直地入射待测薄膜，以获取白光反射率谱原始信号；2)将步骤1)所得的白光反射率谱原始信号进行小波分解；3)对步骤2)中小波分解的信号抽取近似系数及细节系数；4)对步骤3)中的各层系数进行阈值处理；5)重建白光反射率谱信号；6)对步骤5)得到的去噪后的白光反射率谱信号提取特征值，通过特征值求得待测薄膜的膜厚。
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