[发明专利]一种压电传感器、压力检测装置、制作方法及检测方法有效
| 申请号： | 201710706179.6 | 申请日： | 2017-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN107462350B | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 孟虎 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;刘伟 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压电传感器、压力检测装置、制作方法及检测方法。压电传感器包括：位于基板上的薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括有源层；与所述薄膜晶体管的有源层相接触的压电层。当外力使基板发生弯曲时，导致压电层产生正压电效应，即压电层上下表面产生正或负的束缚电荷。在下表面的束缚电荷的电场作用下，有源层的能带会发生弯曲，导致薄膜晶体管沟道的载流子浓度发生改变，致使源漏电流发生改变。若扫描到源漏电流的变化，可视为检测到相应的压力信号。显然，通过对薄膜晶体管的开关控制即可实现对压电传感器的控制，因此本发明的压电传感器可应用于一些需要以阵列方式进行布局的电子器件中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 传感器 压力 检测 装置 制作方法 方法 | ||
【主权项】：
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