[发明专利]一种坩埚盖及其盖合方法和坩埚有效
| 申请号： | 201710706664.3 | 申请日： | 2017-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN107502864B | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 罗程远 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗瑞芝;陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种坩埚盖及其盖合方法和坩埚。该坩埚盖用于盖合在坩埚开口端，包括盖体，盖体在对应坩埚开口端的端面壁的区域设置有吸合结构，吸合结构与坩埚开口端的端面壁相接触，吸合结构能使盖体与坩埚开口端吸合，以使盖体对坩埚开口端密封盖合。该坩埚盖通过在盖体的对应坩埚开口端端面壁的区域设置吸合结构，能使盖体与坩埚开口端吸合，以对坩埚开口端进行密封盖合，从而实现了对坩埚内蒸镀材料的密封；进而在蒸镀材料放入坩埚内之后以及蒸镀前将盛有蒸镀材料的坩埚放入蒸镀腔室的过程中，避免蒸镀材料与外界大气环境中的气体相接触，继而避免蒸镀材料被大气环境中的气体氧化，确保了蒸镀形成的器件的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 盖体 吸合 蒸镀材料 开口端 坩埚盖 盖合 密封盖合 区域设置 开口 端面壁 放入 蒸镀 外界大气环境 大气环境 蒸镀腔室 面壁 密封 | ||
【主权项】：
1.一种坩埚盖，用于盖合在坩埚开口端，包括盖体，其特征在于，所述盖体在对应所述坩埚开口端的端面壁的区域设置有吸合结构，所述吸合结构与所述坩埚开口端的所述端面壁相接触，所述吸合结构能使所述盖体与所述坩埚开口端吸合，以使所述盖体对所述坩埚开口端密封盖合；所述吸合结构包括开设在所述盖体内的第一空腔，所述第一空腔贯通所述盖体的厚度，所述第一空腔包括面对所述坩埚开口端的所述端面壁的第一开口和背对所述端面壁的第二开口。
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