[发明专利]扫描微机电反射器系统有效

专利信息
申请号: 201710707612.8 申请日: 2017-08-17
公开(公告)号: CN107783280B 公开(公告)日: 2020-07-28
发明(设计)人: 阿尔蒂·托尔凯利 申请(专利权)人: 株式会社村田制作所
主分类号: G02B26/10 分类号: G02B26/10;G02B26/08
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 唐京桥;陈炜
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本公开内容涉及扫描微机电反射器系统。通过将致动器的移动端固定至使反射器从框架悬挂下来的悬挂件来机械地放大使用MEMS反射镜系统中的弯曲压电致动器获得的致动范围。固定点位于悬挂件的两个端部之间的某个地方。致动器和悬挂件一起形成其制动范围比致动器通过其自身可以获得的致动范围大的致动器单元。在一个实施方式中,悬挂件是刚性杆。在另一实施方式中,悬挂件是另一弯曲致动器,使得可以从第二致动器的致动运动获得致动范围的额外增加。
搜索关键词: 扫描 微机 反射 系统
【主权项】:
一种扫描微机电反射器系统,包括:框架、反射器以及至少一个致动单元,其中,每个致动单元包括致动器和悬挂件,其特征在于,所述悬挂件从第一固定点固定至所述框架、从第二固定点固定至所述反射器并且从第三固定点固定至所述致动器,以及当所述第三固定点被投影到延伸通过所述第一固定点和所述第二固定点的线上时,所述第三固定点的投影位于所述第一固定点与所述第二固定点之间。
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