[发明专利]一种涂布检测装置、涂布设备及涂布检测方法有效
| 申请号： | 201710708599.8 | 申请日： | 2017-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN107321557B | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 王兆君;赵永亮;吴旭 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B05C1/08 | 分类号： | B05C1/08;B05C11/10;G01B11/00;G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及膜层制备技术领域，公开了一种涂布检测装置、涂布设备及涂布检测方法，该涂布检测装置中，包括：预涂辊，设于预涂辊周侧的光检测组件；光学检测组件包括用于向预涂辊表面发射光线的光发射器、和用于接收光发射器发射的光线被预涂辊表面反射回来的光线的光接收器；数据处理模块，数据处理模块与光接收器信号连接。上述涂布检测装置中的光发射器向预涂辊发射的光线经反射形成出射光线，通过光接收器感应出射光线的偏移量判断光线扫射处光刻胶涂层的涂覆状况，进而可以确定涂布设备是否发生阻塞，避免在基板上涂覆时发生Suji Mura，提高产品良率，减少人力、物力浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 装置 布设 方法 | ||
【主权项】：
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