[发明专利]柔性基板剥离装置及剥离方法有效

专利信息
申请号: 201710708601.1 申请日: 2017-08-17
公开(公告)号: CN107528009B 公开(公告)日: 2020-02-28
发明(设计)人: 刘典 申请(专利权)人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 郝传鑫;熊永强
地址: 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种柔性基板剥离装置,用于将柔性基板从玻璃基板上剥离,所述柔性基板剥离装置包括胶带输送轮、胶带回收轮、剥离辊和胶带,所述胶带输送轮轴向转动以传送所述胶带,所述胶带包括相对设置的第一表面和第二表面,所述剥离辊的表面与所述胶带的第二表面相接触,所述剥离辊沿着平行于所述玻璃基板的方向移动并压紧所述柔性基板,使得所述柔性基板黏贴在所述胶带的第一表面上,所述胶带回收轮轴向转动以带动所述胶带使得黏贴在所述胶带的第一表面上的柔性基板从所述玻璃基板上剥离。本发明的柔性基板剥离装置能通过胶带牵拉实现柔性基板和玻璃基板的温和有效剥离,提高了柔性基板剥离工艺的良率。本发明还公开了一种剥离方法。
搜索关键词: 柔性 剥离 装置 方法
【主权项】:
一种柔性基板剥离装置,用于将柔性基板从玻璃基板上剥离,其特征在于,所述柔性基板剥离装置包括胶带输送轮、胶带回收轮、剥离辊和胶带,所述胶带输送轮轴向转动以传送所述胶带,所述胶带包括相对设置的第一表面和第二表面,所述剥离辊的表面与所述胶带的第二表面相接触,所述剥离辊沿着平行于所述玻璃基板的方向移动并压紧所述柔性基板,使得所述柔性基板黏贴在所述胶带的第一表面上,所述胶带回收轮轴向转动以带动所述胶带使得黏贴在所述胶带的第一表面上的所述柔性基板从所述玻璃基板上剥离。
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