[发明专利]一种用于活动式炉层的清洁装置

摘要

本发明公开了一种用于活动式炉层的清洁装置，用于对制备液晶面板的炉体的多个腔室内壁进行清洁，其中：炉体的长度尺寸远大于每个炉层的上下间距尺寸，包括：粘附组件，粘附组件设为能够分别对每个炉层的顶表面和底表面进行清洁的两个；与粘附组件相连的固定支撑组件；以及连接在抵压固定支撑组件上的杆件，其中：杆体推送抵压固定支撑组件连同粘附组件在炉体腔室的内部往复移动，抵压固定支撑组件始终将粘附组件抵压在该炉层的顶表面和底表面上，粘附组件对炉体的腔室内壁进行清洁。实施本发明的用于活动式炉层的清洁装置，能够应用在多种狭窄空间多面清洁的腔体中，有效清除制程炉内细小粉尘，提升产品的良率；结构精简，有效提高作业效率。

主权项

一种用于活动式炉层的清洁装置，用于对制备液晶面板的炉体的多个腔室内壁进行清洁，其中：炉体的长度尺寸远大于每个炉层的上下间距尺寸，其特征在于，包括：用于对每个炉层内的粉尘进行粘附的粘附组件，所述粘附组件设为能够分别对每个炉层的顶表面和底表面进行清洁的两个；与所述粘附组件相连，用以将其中一个粘附组件抵压在炉层的顶表面，将另一个粘附组件抵压在该炉层底表面上的抵压固定支撑组件；以及连接在所述抵压固定支撑组件上的杆件，其中：所述杆体推送所述抵压固定支撑组件连同所述粘附组件在炉体腔室的内部往复移动，所述抵压固定支撑组件始终将所述粘附组件抵压在该炉层的顶表面和底表面上，粘附组件对炉体的腔室内壁进行清洁。