[发明专利]一种压电驱动式两自由度解耦微摆动平台

摘要

本发明公开了一种压电驱动式两自由度解耦微摆动平台，包括基座，立柱，解耦虎克铰链，X轴桥式放大机构，X轴压电陶瓷驱动器，X轴预紧螺栓，X轴虎克铰链，Y轴桥式放大机构，Y轴压电陶瓷驱动器，Y轴预紧螺栓，Y轴虎克铰链，工作平台；X、Y轴桥式放大机构安装于基座的两条边的外侧，X、Y轴桥式放大机构距离基座的顶点距离相等，X、Y轴压电陶瓷驱动器通过X、Y轴预紧螺栓安装在X、Y轴桥式放大机构中；X、Y轴桥式放大机构包括位于X、Y轴压电陶瓷驱动器两侧且对称设置的柔性铰链机构和连接桥式柔性铰链机构的横梁，X、Y轴桥式放大机构通过X、Y轴虎克铰链与工作平台连接。本发明能够实现两自由度解耦的精密微小摆动。

主权项

1.一种压电驱动式两自由度解耦微摆动平台，其特征在于，包括基座，立柱，解耦虎克铰链，X轴桥式放大机构，X轴压电陶瓷驱动器，X轴预紧螺栓，X轴虎克铰链，Y轴桥式放大机构，Y轴压电陶瓷驱动器，Y轴预紧螺栓，Y轴虎克铰链，工作平台；所述X轴桥式放大机构和Y轴桥式放大机构安装于所述基座的两条边的外侧，X轴桥式放大机构和Y轴桥式放大机构距离基座的顶点距离相等，所述X轴压电陶瓷驱动器和Y轴压电陶瓷驱动器通过所述X轴预紧螺栓和Y轴预紧螺栓安装在所述X轴桥式放大机构和Y轴桥式放大机构中；所述X轴桥式放大机构和Y轴桥式放大机构包括位于所述X轴压电陶瓷驱动器和Y轴压电陶瓷驱动器两侧且对称设置的柔性铰链机构和连接桥式柔性铰链机构的横梁，所述X轴桥式放大机构和Y轴桥式放大机构通过所述X轴虎克铰链和Y轴虎克铰链与所述工作平台连接；所述立柱安装在所述基座上，位于所述X轴压电陶瓷驱动器和Y轴压电陶瓷驱动器轴线的交点处；所述立柱上侧与所述解耦虎克铰链连接，解耦虎克铰链与工作平台连接，所述工作平台与所述基座的边线对齐分布。