[发明专利]OLED蒸发源、蒸镀设备及OLED面板像素阵列的制备方法有效
| 申请号： | 201710716443.4 | 申请日： | 2017-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN107425144B | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 杨玲;祝晓钊;王波;梁舰;廖良生;冯敏强 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 王宁宁 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例提供一种OLED蒸发源、蒸镀设备及OLED面板像素阵列的制备方法。其中，该所述OLED蒸发源包括基板和多个热蒸发点源，所述基板上开设有与所述多个热蒸发点源对应的多个凹槽子单元，每个凹槽子单元包括至少两个子凹槽，每个热蒸发点源包括与所述至少两个子凹槽对应的至少两个子加热体，所述子加热体设置于所述子凹槽。本发明通过对OLED蒸发源的巧妙设计，能够有效提高蒸镀后的膜层的均匀性和蒸镀材料的利用率，简化蒸镀时的工艺流程。 | ||
| 搜索关键词： | oled 蒸发 设备 面板 像素 阵列 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种OLED蒸发源，其特征在于，所述OLED蒸发源包括基板和多个热蒸发点源，所述基板上开设有与所述多个热蒸发点源对应的多个凹槽子单元，每个凹槽子单元包括至少两个子凹槽，每个热蒸发点源包括与所述至少两个子凹槽对应的至少两个子加热体，所述子加热体设置于所述子凹槽。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏集萃有机光电技术研究所有限公司，未经江苏集萃有机光电技术研究所有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710716443.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种新型电子万能试验机
- 下一篇：一种弹性测量仪
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
