[发明专利]电容式柔性压力传感器及其制备方法在审
申请号: | 201710717484.5 | 申请日: | 2017-08-18 |
公开(公告)号: | CN107505068A | 公开(公告)日: | 2017-12-22 |
发明(设计)人: | 李从举;汪滨;杨威 | 申请(专利权)人: | 北京纳米能源与系统研究所 |
主分类号: | G01L1/14 | 分类号: | G01L1/14 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 100083 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种电容式柔性压力传感器及其制备方法。其中,电容式柔性压力传感器包括第一柔性纳米纤维薄膜层;第二柔性纳米纤维薄膜层,与第一柔性纳米纤维薄膜层相对设置;第一电极层,附着于第一柔性纳米纤维薄膜层内侧;第二电极层,附着于第二柔性纳米纤维薄膜层内侧;以及纳米纤维膜介电层,设置于第一电极层与第二电极层之间。利用静电纺丝得到具有微纳结构的纳米纤维膜,实现了柔性压力传感器件的低成本、大面积的制备;同时,纳米纤维薄膜介电层的多孔结构进一步提高了传感器的灵敏度,实现了透气性、高灵敏度、低成本、可穿戴的综合性能提高。 | ||
搜索关键词: | 电容 柔性 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种电容式柔性压力传感器,包括:第一柔性纳米纤维薄膜层;第二柔性纳米纤维薄膜层,与第一柔性纳米纤维薄膜层相对设置;第一电极层,附着于第一柔性纳米纤维薄膜层内侧;第二电极层,附着于第二柔性纳米纤维薄膜层内侧;以及纳米纤维膜介电层,设置于第一电极层与第二电极层之间。
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