[发明专利]微型气体控制装置在审
| 申请号： | 201710718362.8 | 申请日： | 2017-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN109424523A | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 莫皓然;廖鸿信;陈世昌;廖家淯;陈寿宏;韩永隆;李伟铭 | 申请（专利权）人： | 研能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F04B45/047 | 分类号： | F04B45/047;F04B39/16 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 喻学兵 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本案提供一种微型气体控制装置，包括微型气体传输装置及微型阀门装置，其特征在于，微型气体传输装置更包含依序堆叠设置的防护膜、进气板、共振片及压电致动器，微型阀门装置更包含依序堆叠设置的集气板、阀门片及出口板。透过驱动微型气体传输装置的压电致动器，使气体由进气板进入，并经共振片流入微型阀门装置，再透过微型阀门装置的阀门片对应出口板的阀孔进行开或关，俾进行集压或卸压作业。 | ||
| 搜索关键词： | 微型气体 微型阀门 传输装置 压电致动器 控制装置 依序堆叠 出口板 阀门片 进气板 防护膜 共振片 集气板 阀孔 共振 卸压 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种微型气体控制装置，其特征在于，包括：一微型气体传输装置，其更包含：至少一防护膜，为一防水、防尘且可供气体穿透的膜状结构；一进气板，具有至少一进气孔；一共振片；以及一压电致动器；其中，该至少一防护膜、该进气板、该共振片及该压电致动器依序对应堆叠设置定位，且该共振片与该压电致动器之间具有一间隙形成一第一腔室，该压电致动器受驱动时，气体由该进气板的该至少一进气孔进入，流经该共振片，以进入该第一腔室内再向下传输；以及一微型阀门装置，包括：一集气板，具有至少两贯穿孔及至少两腔室；一阀门片，具有一阀孔；以及一出口板，具有至少两贯穿孔及至少两腔室；其中，该集气板、该阀门片以及该出口板依序对应堆叠设置定位，该微型气体传输装置与该微型阀门装置之间形成一集气腔室，当气体自该微型气体传输装置向下传输至该集气腔室，再传递至该微型阀门装置内，透过该集气板、该出口板分别具有的至少两贯穿孔及至少两腔室，以因应气体的单向流动而使该阀门片的该阀孔对应进行开或关，俾进行集压或卸压作业。
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