[发明专利]一种超声波清洗装置在审
| 申请号： | 201710719132.3 | 申请日： | 2017-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN109420642A | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 许清秀 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 高伟;冯永贞 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种超声波清洗装置。所述超声波清洗装置包括清洗槽，在所述清洗槽外表面上设置有若干移动式的超声波振子，所述超声振子能相对所述清洗槽外表面运动以实现清洗物的均匀清洗。本发明所述超声波清洗装置产生的清洗波达到清洗物(如晶圆)表面的能量是一样的大小，从而解决超声波驻波对清洗物(如晶圆)表面图形的局部破坏性或是局部清洗不充分。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波清洗装置 清洗槽 清洗物 晶圆 清洗 超声波振子 外表面运动 表面图形 超声振子 局部清洗 超声波 移动式 驻波 | ||
【主权项】：
1.一种超声波清洗装置，所述超声波清洗装置包括清洗槽，其特征在于，在所述清洗槽外表面上设置有若干移动式的超声波振子，所述超声振子能相对所述清洗槽外表面运动以实现清洗物的均匀清洗。
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