[发明专利]自适应对位方法

摘要

本发明提供一种自适应对位方法，对CCD图像传感器获得的基板对位标所在区域的图像、及掩膜板对位标所在区域的图像进行预处理后识别对位标，再分别对识别到的基板对位标、掩膜板对位标进行尺寸变换处理与灰度归一化处理，使各基板对位标的尺寸统一、中心不变、边缘清晰，各掩膜板对位标的尺寸统一、中心不变、边缘清晰，然后计算相应的基板对位标与掩膜板对位标的中心位置偏差，最后对位机构根据所述中心位置偏差进行移动，使所述基板对位标与掩膜板对位标对位、重合，实现相应的基板和掩膜板的位置匹配，既能够有效提高对位精度，又能够提升对位机构对基板与掩膜板的兼容性，降低对对位标的制作要求，减少对位故障，改善设备稼动率。

主权项

1.一种自适应对位方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S1、提供多个基板(1)、及多个掩膜板(2)，使用CCD图像传感器获取基板对位标(11)所在区域的图像、及掩膜板对位标(21)所在区域的图像；步骤S2、对CCD图像传感器获得的基板对位标(11)所在区域的图像、及掩膜板对位标(21)所在区域的图像进行预处理；步骤S3、分别对预处理后的基板对位标(11)所在区域的图像、掩膜板对位标(21)所在区域的图像进行对位标识别；步骤S4、分别对识别到的基板对位标(11)、掩膜板对位标(21)进行尺寸变换处理与灰度归一化处理；步骤S5、选取一完成基板对位标(11)尺寸变换处理与灰度归一化处理的基板(1)及一完成掩膜板对位标(21)尺寸变换处理与灰度归一化处理的掩膜板(2)，计算相应的基板对位标(11)与掩膜板对位标(21)的中心位置偏差(ΔX，ΔY)；步骤S6、对位机构根据步骤S5计算得到的基板对位标(11)与掩膜板对位标(21)的中心位置偏差(ΔX，ΔY)进行移动，使所述基板对位标(11)与掩膜板对位标(21)对位、重合，实现相应的基板(1)和掩膜板(2)的位置匹配；所述步骤S2对CCD图像传感器获得的基板对位标(11)所在区域的图像、及掩膜板对位标(21)所在区域的图像进行预处理包括光照补偿处理；所述步骤S2对CCD图像传感器获得的基板对位标(11)所在区域的图像、及掩膜板对位标(21)所在区域的图像进行预处理还包括去噪处理。