[发明专利]一种旋转提拉称重单元与炉腔分离的晶体提拉炉在审
| 申请号： | 201710720803.8 | 申请日： | 2017-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN107299388A | 公开（公告）日： | 2017-10-27 |
| 发明（设计）人： | 董春明 | 申请（专利权）人： | 济南金曼顿自动化技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 济南日新专利代理事务所37224 | 代理人： | 王书刚 |
| 地址： | 250019 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种旋转提拉称重单元与炉腔分离的晶体提拉炉，包括炉腔和旋转提拉称重单元，旋转提拉称重单元固定于炉腔之外独立的固定装置上。所述固定装置底部设置有减震座。通过调整籽晶杆，使籽晶位于炉腔内坩埚的中心部位，这样在晶体生长之前进行调整以保证籽晶杆的同心度以及籽晶位于坩埚的中心。然后通过旋转并向上提拉籽晶而实现晶体生长。该晶体提拉炉中的旋转提拉称重单元与炉腔分离，不直接固定于炉腔上，而是固定于独立的固定装置上，这种结构非常关键，避免了传统晶体提拉炉由于炉腔热胀冷缩而导致的提拉称重单元不稳定，可以避免炉腔变形造成的籽晶和生长晶体偏离坩埚中心，使晶体生长过程稳定可靠，有利于获得高质量的晶体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 称重 单元 分离 晶体 提拉炉 | ||
【主权项】：
一种旋转提拉称重单元与炉腔分离的晶体提拉炉，包括炉腔和旋转提拉称重单元，其特征是：旋转提拉称重单元固定于炉腔之外独立的固定装置上。
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