[发明专利]一种离子注入机束线充氮气装置在审
| 申请号： | 201710721656.6 | 申请日： | 2017-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN109427525A | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 甄晓岩 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种离子注入机束线充氮气装置。该装置主要包括：减压阀(1),波纹管密封阀(2),质量流量计(3),流量计保护罩(4),过滤器(5),三通(6),卡箍(7),弯通(8),固定板(9)。该装置由两条气路组成。气路一主要由减压阀(1)、波纹管密封阀(2)、质量流量计(3)、流量计保护罩(4)过滤器(5)组成。在离子注入的过程中，通过气路一向束线腔中充入相应低流量值的氮气；气路二主要由波纹管密封阀(2)组成，离子注入机进行维护前，通过气路二可向束线腔充入流量值较高的氮气，使束线腔内压力由高真空快速降为大气条件。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。 | ||
| 搜索关键词： | 气路 束线 波纹管密封 离子注入机 减压阀 流量计 氮气 过滤器 充氮气装置 质量流量计 保护罩 半导体制造领域 离子注入装置 大气条件 腔内压力 低流量 高真空 固定板 卡箍 弯通 离子 三通 维护 | ||
【主权项】：
1.一种离子注入机束线充氮气装置,该装置主要包括：减压阀(1),波纹管密封阀(2),质量流量计(3),流量计保护罩(4),过滤器(5),三通(6),卡箍(7),弯通(8),固定板(9)。该氮气充气装置由两条气路组成。气路一主要由减压阀(1)、波纹管密封阀(2)、质量流量计(3)、流量计保护罩(4)过滤器(5)组成。在离子注入的过程中，通过气路一向束线腔中充入相应低流量值的氮气；气路二主要由波纹管密封阀(2)组成，离子注入机进行维护前，通过气路二可向束线腔充入流量值较高的氮气，使束线腔内压力由高真空快速降为大气条件。
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