[发明专利]一种基于微透镜莫尔成像的精密微位移检测装置及方法有效
| 申请号： | 201710724993.0 | 申请日： | 2017-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN107543500B | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 申溯;郑伟伟 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 淮安市科翔专利商标事务所 32110 | 代理人： | 韩晓斌 |
| 地址： | 215006*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种基于微透镜莫尔成像的精密微位移检测方法和装置，其特征在于，包括检测台以及微位移记录装置；所述微位移记录装置包括莫尔图像形成机构、图像记录机构以及上位机；其中，所述莫尔图像形成机构包括位于所述检测台上的微图文阵列以及与所述微图文阵列相对设置的微透镜阵列；所述微透镜阵列设于所述图像记录机构朝向微图文阵列一侧，所述图像记录机构连接所述上位机，所述图像记录机构将记录的图像传输于所述上位机，所述上位机对于图像提取移动的微位移。利用莫尔放大图像作为检测标志，能够同时探测(x,y,θ,z)四个维度的微小位移。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 透镜 莫尔 成像 精密 位移 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基于微透镜莫尔成像的精密微位移检测装置，其特征在于，包括检测台以及微位移记录装置；所述微位移记录装置包括莫尔图像形成机构、图像记录机构以及上位机；其中，所述莫尔图像形成机构包括位于所述检测台上的微图文阵列以及与所述微图文阵列相对设置的微透镜阵列；所述微透镜阵列设于所述图像记录机构朝向微图文阵列一侧，所述图像记录机构连接所述上位机，所述图像记录机构将记录的图像传输于所述上位机，所述上位机对于图像处理提取检测台的微位移。
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