[发明专利]一种晶圆上MMIC裸片的快速自动测试方法在审
| 申请号： | 201710727174.1 | 申请日： | 2017-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN107589364A | 公开（公告）日： | 2018-01-16 |
| 发明（设计）人： | 朱学波;胡宝刚 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十一研究所 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 青岛智地领创专利代理有限公司37252 | 代理人： | 朱玉建 |
| 地址： | 266555 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆上MMIC裸片的快速自动测试方法。该测试方法在利用微波单片集成电路测试系统对小批量晶圆上MMIC裸片进行快速自动测试的基础上，提出了一种三点式坐标定位法，以实现被测晶圆上大量MMIC裸片测试点的快速自动定位，取代应对批量晶圆MMIC裸片测试的测试点坐标逐点输入方法，通过坐标点插值算法快速计算大量MMIC裸片测试点坐标点，极大的缩减晶圆上每片MMIC裸片测试点的坐标输入时间，在保证测试点坐标相对较准的前提下显著提高小批量晶圆MMIC裸片测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆上 mmic 快速 自动 测试 方法 | ||
【主权项】：
一种晶圆上单种类MMIC裸片的快速自动测试方法，基于微波单片集成电路综合测试系统对MMIC裸片进行测试；其特征在于，利用三点式坐标定位法实现被测晶圆上MMIC裸片测试点的快速自动定位，被测晶圆上MMIC裸片测试点的具体定位过程如下：首先将晶圆上的MMIC裸片以行、列的形式进行编号，则MMIC裸片以m行n列的方式有序排列，m、n均为自然数；被测晶圆上MMIC裸片测试点的定位步骤包括：s1手动控制探针移动确定初始参考点编号(1,1)的MMIC裸片管脚坐标(a1,b1)；s2手动控制探针移动确定行的最远点编号(1,n)的MMIC裸片管脚坐标(a1,bn)以及列的最远点编号(m,1)的MMIC裸片管脚坐标(am,b1)；s3通过上述初始参考点、行的最远点以及列的最远点的MMIC裸片管脚坐标，采用插值算法计算该区域其它点对应坐标，以自动获得待测晶圆上所有MMIC裸片测试点坐标；微波单片集成电路综合测试系统自动读取相应MMIC裸片测试点坐标值，并自动控制探针台探针移动至该MMIC裸片测试点进行测试。
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