[发明专利]用于薄膜材料生长的感应加热装置

摘要

本公开提供了一种用于薄膜材料生长的感应加热装置，包括：托盘；以及感应线圈，设置于托盘下方，用于对托盘进行加热；其中，感应线圈为平面螺旋形，且包括p匝线圈：第1匝线圈为感应线圈的最内匝线圈，第p匝线圈为最外匝线圈，第m匝线圈和第n匝线圈均位于第1匝线圈和第p匝线圈之间，1＜m＜n＜p；第1匝至第m匝线圈中任意相邻两匝线圈的间距和第n匝至第p匝线圈中任意相邻两匝线圈的间距均小于第m匝至第n匝线圈中任意相邻两匝线圈的匝间间距。本公开提供的感应加热装置，提高了托盘整体的温度均匀性和托盘中心区域的温度，且满足了大尺寸多片式的薄膜材料在高温下生长的需求，提高了生长薄膜材料的效率和质量。