[发明专利]一种用于人工晶体生长的装置在审
申请号: | 201710728718.6 | 申请日: | 2017-08-23 |
公开(公告)号: | CN107687026A | 公开(公告)日: | 2018-02-13 |
发明(设计)人: | 李留臣;周正星;王建康;孟德 | 申请(专利权)人: | 江苏星特亮科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司32103 | 代理人: | 孙仿卫 |
地址: | 215627 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于人工晶体生长的装置,包括托盘、固设于托盘上的与其同轴分布的转轴、多个以托盘的轴心线为环绕中心的环设于托盘上的坩埚、用于驱动转轴绕自身轴心线方向转动的第一驱动机构、用于驱动多个坩埚分别绕自身轴心线方向转动的设于托盘上的第二驱动机构。本发明一种用于人工晶体生长的装置,通过设置第一驱动机构驱动托盘带动多个坩埚在热场中公转;同时通过设置第二驱动机构驱动多个坩埚在热场中自转,使各坩埚和坩埚各部位的受热情况保持均匀,提高了人工晶体的生长质量和生长效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 人工 晶体生长 装置 | ||
【主权项】:
一种用于人工晶体生长的装置,其特征在于:包括托盘、固设于所述托盘上的与其同轴分布的转轴、多个以所述托盘的轴心线为环绕中心的环设于所述托盘上的坩埚、用于驱动所述转轴绕自身轴心线方向转动的第一驱动机构、用于驱动多个所述坩埚分别绕自身轴心线方向转动的设于所述托盘上的第二驱动机构。
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