[发明专利]实现超大口径平面镜面形检测的装置有效
| 申请号： | 201710729204.2 | 申请日： | 2017-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN107462185B | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 朱硕;张晓辉 | 申请（专利权）人： | 长春长光精密仪器集团有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人： | 王丹阳 |
| 地址： | 136000 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种实现超大口径平面镜面形检测的装置涉及光学元件面形检测技术领域,包括：转动机构；移动机构，所述移动机构设置于转动机构上，移动机构带动被检平面镜随着转动机构转动，所述移动机构带动其上的被检平面镜在移动机构表面水平或竖直方向移动；球面反射机构，所述球面反射机构的中心与被检平面镜的中心位于同一平面，球面反射机构距转动机构一定距离、且沿着转动机构圆心转动；激光干涉仪，所述激光干涉仪设置于转动机构的一侧且间隔一定距离，激光干涉仪的出光端中心位置与被测平面镜中心位于同一平面。本发明的有益效果为：满足了检测通用性强，检测精度高，低成本的大口径平面镜全口径高精度面形检测需求。 | ||
| 搜索关键词： | 转动机构 移动机构 平面镜 面形检测 球面反射 激光干涉仪 超大口径 大口径平面镜 光学元件面形 检测技术领域 竖直方向移动 平面镜中心 表面水平 激光干涉 通用性强 圆心转动 出光端 低成本 全口径 检测 转动 | ||
【主权项】：
1.一种实现超大口径平面镜面形检测的装置，其特征在于，包括：转动机构；移动机构，所述移动机构设置于转动机构上，移动机构带动被检平面镜随着转动机构转动，所述移动机构带动其上的被检平面镜(1)在移动机构表面水平或竖直方向移动；球面反射机构，所述球面反射机构的中心与被检平面镜(1)的中心位于同一平面，所述球面反射机构距转动机构一定距离、且沿着转动机构圆心转动；激光干涉仪(2)，所述激光干涉仪(2)设置于转动机构的一侧且间隔一定距离，激光干涉仪(2)的出光端中心位置与被测平面镜(1)中心位于同一平面；所述球面反射机构包括弧形导轨(8)和球面镜(9)，所述球面镜(9)能够移动的设置于弧形导轨(8)靠近转台(3)的一侧，球面镜(9)的中心与被检平面镜(1)的中心位于同一平面，球面镜(9)到转台(3)的垂直距离为球面反射机构距转动机构的一定距离；所述转台(3)到激光干涉仪(2)的垂直距离与球面镜(9)到转台(3)的垂直距离之和为球面镜(9)的曲率半径。
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