[发明专利]一种常压炉管工艺压力控制装置

摘要

本发明提出一种常压炉管工艺压力控制装置，其特征在于，包括：冷却腔，通过管道连接于炉管，冷却腔下部设置有储水箱；排气腔，连接于冷却腔；驱动腔，连接于排气腔，其中，炉管设置有压力计，驱动腔设置有压力控制器、驱动气体流量调节阀和活塞，压力控制器接收炉管控压设定值以及压力计侦测到的炉管工艺气体实际压力值，压力控制器将控压设定值和实际压力值进行比较，输出信号，控制驱动气体流量调节阀，调整驱动腔内驱动气体的驱动力，利用驱动气体压力驱动活塞，调节其开度大小，实现精确调节炉管工艺气体压力。本发明能有效实现常压炉管炉体工艺压力精确控制，使炉管工艺压力不受外部环境压力波动的影响，从而保证炉管工艺膜厚的稳定性要求。

主权项

1.一种常压炉管工艺压力控制装置，其特征在于，包括：冷却腔，通过管道连接于炉管，所述冷却腔下部设置有储水箱；排气腔，连接于所述冷却腔；驱动腔，连接于所述排气腔，其中，所述炉管设置有压力计，所述驱动腔设置有压力控制器、驱动气体流量调节阀和活塞，所述活塞包括延伸至所述排气腔内的部分，所述压力控制器接收炉管控压设定值以及所述压力计侦测到的炉管工艺气体实际压力值，所述压力控制器将控压设定值和实际压力值进行比较，输出信号，控制驱动气体流量调节阀，调整驱动腔内驱动气体的驱动力，利用驱动气体压力驱动活塞，调节其开度大小，实现精确调节炉管工艺气体压力。