[发明专利]薄膜电感器及制造该薄膜电感器的方法有效
| 申请号： | 201710733812.0 | 申请日： | 2017-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN108022715B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 柳正杰 | 申请（专利权）人： | 三星电机株式会社 |
| 主分类号： | H01F17/00 | 分类号： | H01F17/00;H01F27/28;H01F27/32;H01F41/04;H01F41/12 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 何巨;金光军 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开提供一种薄膜电感器及制造该薄膜电感器的方法，所述方法包括：制备具有第一表面和第二表面的载体膜，在所述第一表面上形成有第一上分离层，在所述第二表面上形成有第一下分离层。在所述第一表面上形成包括第一上线圈图案和第一上绝缘图案的第一上层。在所述第二表面上形成包括第一下线圈图案和第一下绝缘图案的第一下层。研磨所述第一上层的表面。所述第一下线圈图案的高度小于所述第一下绝缘图案的高度。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 电感器 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造薄膜电感器的方法，所述方法包括：(a)制备具有第一表面和与所述第一表面相对的第二表面的载体膜，所述第一表面上形成有第一上分离层，并且所述第二表面上形成有第一下分离层；(b)在所述第一表面上形成第一上层并在所述第二表面上形成第一下层，所述第一上层包括第一上线圈图案和第一上绝缘图案，所述第一下层包括第一下线圈图案和第一下绝缘图案；及(c)研磨所述第一上层的表面，其中，所述第一下线圈图案的高度小于所述第一下绝缘图案的高度。
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