[发明专利]一种基于LTCC的基片集成波导式无线无源气体传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201710735159.1 | 申请日： | 2017-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN107677707B | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 谭秋林;熊继军;郭彦杰;张磊;逯斐;郭晓威;董和磊;张文栋 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 太原晋科知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14110 | 代理人： | 任林芳 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明属于气体传感技术领域，具体是一种基于LTCC的基片集成波导式无线无源气体传感器及其制备方法。解决了现有气体传感器有线连接，安装不方便，使用周期短等问题，包括上表面金属层、下表面金属层以及设置在中间的LTCC氧化铝陶瓷片，上表面金属层、下表面金属层和LTCC氧化铝陶瓷片组成基片，基片周侧设有一圈基片集成波导的侧壁金属圆柱通孔，以此构成基于基片集成波导的结构，基片集成波导的侧壁金属圆柱通孔内填充有银浆料，基片中部设有气体敏感结构，上表面金属层表面设有缝隙天线。本发明充分利用了基片集成波导谐振器具有高的品质因数，低损耗等优点，可以有效的增大无线测试的距离。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 ltcc 集成 波导 无线 无源 气体 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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