[发明专利]极紫外光微影设备、标靶材料供应系统与方法有效
| 申请号： | 201710735382.6 | 申请日： | 2017-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN109426084B | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 赖韦志;郑力凯;张汉龙;刘柏村;陈立锐 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 冯志云;王芝艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本公开提供一种标靶材料供应系统，包括一标靶液滴产生器、一标靶液滴收集器及一标靶材料处理装置。标靶液滴产生器配置以产生多个标靶液滴，可供一极紫外光微影设备利用以产生极紫外光。标靶液滴收集器配置以收集上述标靶液滴的未被利用部分。标靶材料处理装置配置以将一熔融状态的一标靶材料供应至标靶液滴产生器，及配置以将从标靶液滴收集器回收的标靶液滴的未被利用部分重新供应至标靶液滴产生器。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外光 设备 材料 供应 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种标靶材料供应系统，包括：一标靶液滴产生器，配置以产生多个标靶液滴，该些标靶液滴供一极紫外光微影设备利用以产生一极紫外光；一标靶液滴收集器，配置以收集该些标靶液滴的未被利用部分；以及一标靶材料处理装置，配置以将一熔融状态的一标靶材料供应至该标靶液滴产生器，及配置以将从该标靶液滴收集器回收的该些标靶液滴的该些未被利用部分重新供应至该标靶液滴产生器。
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