[发明专利]大口径基底表面膜层厚度在线检测装置及其检测方法

摘要

大口径基底表面膜层厚度在线检测装置及检测方法，属于薄膜检测技术领域。解决了如何提供一种对大口径基底表面膜层厚度进行简单、快速测量的检测装置及检测方法的问题。本发明的检测装置，包括PC机、第一光纤、光纤光谱仪、第二光纤、角度调节装置和旋转平台；PC机接收光纤光谱仪的光谱信息，并计算待测膜层厚度，且控制旋转平台的转动；旋转平台承载待测件；角度调节装置调节第二光纤的角度；第二光纤将光纤光谱仪的光入射到待测膜层并将反射光传输回光纤光谱仪；光纤光谱仪将接收的光转化为光谱信息传输至PC机。该检测装置能够保证膜层不受损伤，测量精度高，操作简单，稳定性好，尤其适用于大口径RB‑SiC表面改性层厚度的在线检测。

主权项

大口径基底表面膜层厚度在线检测装置，其特征在于，包括PC机(1)、第一光纤(2)、光纤光谱仪(3)、第二光纤(4)、角度调节装置(5)和旋转平台；所述PC机(1)通过第一光纤(2)与光纤光谱仪(3)连接，实时接收光纤光谱仪(3)的光谱信息，并通过接收的光谱信息计算待测件(6)的表面膜层厚度；所述PC机(1)还通过电线与旋转平台连接，控制旋转平台的转动；所述旋转平台承载待测件(6)，通过转动带动待测件(6)转动；所述角度调节装置(5)包括立柱(51)、斜拉杆(52)、滑轨(53)和滑块(54)，立柱(51)固定在固定面上，斜拉杆(51)的一端旋转固定在立柱(51)的顶部，滑轨(53)的一端旋转固定在立柱(51)的中部，斜拉杆(52)和滑轨(53)的另一端旋转固定在一起，滑块(54)设置在滑轨(53)上；所述第二光纤(4)的一端与光纤光谱仪(3)连接连接，另一端固定在滑块(54)上，光纤光谱仪(3)的光经的第二光纤(4)入射到待测件(6)的表面膜层上，待测件(6)的表面膜层将光反射回第二光纤(4)中，经第二光纤(4)传输至光纤光谱仪(3)；所述光纤光谱仪(3)将接收的光转化为光谱信息传输至PC机(1)。