[发明专利]用于软板化学镀铜的还原型加速剂及其制备方法和应用在审

专利信息
申请号: 201710737088.9 申请日: 2017-08-24
公开(公告)号: CN107740073A 公开(公告)日: 2018-02-27
发明(设计)人: 刘颂颜 申请(专利权)人: 深圳市新日东升电子材料有限公司
主分类号: C23C18/38 分类号: C23C18/38;C23C18/20
代理公司: 深圳市中原力和专利商标事务所(普通合伙)44289 代理人: 谢芝柏
地址: 518000 广东省深圳市宝安区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种用于软板化学镀铜的还原型加速剂。所述用于软板化学镀铜的还原型加速剂包括含量为8%的硫酸、含量为100g/L的无机还原剂和余量水。本发明还提供一种用于软板化学镀铜的还原型加速剂的制备方法,包括如下步骤往槽内加入部分纯净水;开启搅拌和过滤循环,往槽内按比例加入浓度为98%的硫酸,冷却;待冷却到常温后按比例加入无机还原剂,搅拌溶解;补加剩余水量。本发明还提供一种用于软板化学镀铜的还原型加速剂的应用。本发明提供的用于软板化学镀铜的还原型加速剂,能够有效原四价锡,避免碱式锡酸盐的形成,使钯核充分暴露出来,提高了胶体钯的活性,也显著提高化学镀铜层与基材间的结合强度,消除发花和铜瘤现象。
搜索关键词: 用于 化学 镀铜 原型 加速 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
一种用于软板化学镀铜的还原型加速剂,其特征在于,包括硫酸、无机还原剂和水,其中硫酸的含量为8%,无机还原剂的含量为100g/L,余量为水。
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