[发明专利]用于软板化学镀铜的还原型加速剂及其制备方法和应用在审
申请号: | 201710737088.9 | 申请日: | 2017-08-24 |
公开(公告)号: | CN107740073A | 公开(公告)日: | 2018-02-27 |
发明(设计)人: | 刘颂颜 | 申请(专利权)人: | 深圳市新日东升电子材料有限公司 |
主分类号: | C23C18/38 | 分类号: | C23C18/38;C23C18/20 |
代理公司: | 深圳市中原力和专利商标事务所(普通合伙)44289 | 代理人: | 谢芝柏 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种用于软板化学镀铜的还原型加速剂。所述用于软板化学镀铜的还原型加速剂包括含量为8%的硫酸、含量为100g/L的无机还原剂和余量水。本发明还提供一种用于软板化学镀铜的还原型加速剂的制备方法,包括如下步骤往槽内加入部分纯净水;开启搅拌和过滤循环,往槽内按比例加入浓度为98%的硫酸,冷却;待冷却到常温后按比例加入无机还原剂,搅拌溶解;补加剩余水量。本发明还提供一种用于软板化学镀铜的还原型加速剂的应用。本发明提供的用于软板化学镀铜的还原型加速剂,能够有效原四价锡,避免碱式锡酸盐的形成,使钯核充分暴露出来,提高了胶体钯的活性,也显著提高化学镀铜层与基材间的结合强度,消除发花和铜瘤现象。 | ||
搜索关键词: | 用于 化学 镀铜 原型 加速 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
一种用于软板化学镀铜的还原型加速剂,其特征在于,包括硫酸、无机还原剂和水,其中硫酸的含量为8%,无机还原剂的含量为100g/L,余量为水。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
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