[发明专利]用于清洁光刻设备的集光镜的装置及方法在审
| 申请号： | 201710738608.8 | 申请日： | 2017-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN109426085A | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 简上杰;钟仁阳;吴尚颖;罗绍维;陈立锐;郑博中;陈家桢 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 冯志云;王芝艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本公开提供一种用于清洁光刻设备的集光镜的装置及方法。上述装置包括一支撑杆、一伸缩杆、一控制单元及一黏附元件。伸缩杆具有相对的第一端及第二端，且第一端活动地连接支撑杆。控制单元配置用以控制伸缩杆相对支撑杆的运动及控制伸缩杆的伸缩。粘附元件设置于伸缩杆的第二端，用以清除集光镜上的污染物。 | ||
| 搜索关键词： | 伸缩杆 集光镜 支撑杆 光刻设备 第一端 活动地连接 粘附元件 清洁 伸缩 黏附 污染物 配置 | ||
【主权项】：
1.一种用于清洁光刻设备的集光镜的装置，包括：一支撑杆；一伸缩杆，具有相对的一第一端及一第二端，该第一端活动地连接该支撑杆；一控制单元，配置用以控制该伸缩杆相对该支撑杆的运动及控制该伸缩杆的伸缩；以及一黏附元件，设置于该伸缩杆的该第二端，用以清除该集光镜上的污染物。
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