[发明专利]基于光学吸收和干涉法检测气体浓度的方法及装置有效
| 申请号： | 201710739229.0 | 申请日： | 2017-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN107345904B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 张忠民;吴壮壮;徐立佳 | 申请（专利权）人： | 青岛众瑞智能仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/31 | 分类号： | G01N21/31;G01N21/45 |
| 代理公司： | 青岛致嘉知识产权代理事务所(普通合伙) 37236 | 代理人： | 张晓艳 |
| 地址： | 266000 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提出一种基于光学吸收和干涉法检测气体浓度的方法及装置，所述方法为将光源照射在分光镜上得到同光源具有半波长光程差的两束相干光束，两束相干光束经相同光程分别照射参比气体和样气气体后反射至同一路径发生干涉，经光电检测器检测干涉后零级条纹处光强度，所述装置包括光发射器、分光镜、参比气室、样气气室、全反镜及光电检测器。与现有的基于光学吸收的气体浓度检测装置相比，该方法具有检测限低，分辨率高的特点，可有效检测低含量气体的浓度值。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光学 吸收 干涉 检测 气体 浓度 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种基于光学吸收和干涉法检测气体浓度的方法，其特征在于：将光源照射在分光镜上得到能量相同的两束相干光束，两光束分别照射参比气体和样气气体后经过一个半反半透镜合束至同一路径发生等厚干涉，经光电检测器检测干涉后暗纹处光强度。
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