[发明专利]具有高碳含量和可控光学指数的可交联聚合物及其合成方法和应用在审
| 申请号： | 201710742206.5 | 申请日： | 2017-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN107501459A | 公开（公告）日： | 2017-12-22 |
| 发明（设计）人： | 蒋继明 | 申请（专利权）人： | 江苏明魁高分子材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C08F212/32 | 分类号： | C08F212/32;C08J3/24;C08L25/02 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司32218 | 代理人： | 徐冬涛,邢贤冬 |
| 地址： | 214205 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种聚合物，由以下方法制得将苯乙烯类单体、4‑乙烯基苯并环丁烯、引发剂和有机溶剂混合后，在惰性气体保护下反应，反应结束后降温，将反应液倒入沉析溶剂中使聚合物沉淀出来，过滤，真空干燥得聚合物。本发明还公开了聚合物作为光刻工艺抗反射层和/或硬掩模层材料的应用。本发明聚合物碳元素含量在85％以上，满足等离子蚀刻工艺所需的高选择性需要，得到具有高长宽比的高分辨率图像转移。同时，具有优良的溶解性以及可旋涂性，能在光刻材料层上旋涂形成良好的薄膜涂层。另外，该聚合物可快速交联，确保不被旋涂在其上层的材料的溶剂溶解。聚合物具有可控光学指数，满足材料层在193nm或其他波长光刻时具有抗反射性能。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 含量 可控 光学 指数 交联 聚合物 及其 合成 方法 应用 | ||
【主权项】：
一种聚合物，其特征在于所述的聚合物由苯乙烯类单体和4‑乙烯基苯并环丁烯共聚而成；所述的聚合物是由以下方法制备得到的：将苯乙烯类单体、4‑乙烯基苯并环丁烯、引发剂和有机溶剂混合后，在惰性气体保护下反应，反应结束后降温，将反应液倒入沉析溶剂中使聚合物沉淀出来，过滤，真空干燥得聚合物；其中，所述的苯乙烯类单体如式其中，R为取代或未取代的苯基、联苯基、萘基或蒽基，苯基、联苯基、萘基或蒽基的取代基为烷基CnH2n+1，n为1‑10。
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