[发明专利]一种照明系统、曝光装置和曝光方法有效
| 申请号： | 201710744021.8 | 申请日： | 2017-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN109426088B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 宋珊珊 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种照明系统、曝光装置和曝光方法，该照明系统包括：照明光源、照明光调整装置以及中继镜组，其特征在于，在所述照明光调整装置中设置补偿光源装置，所述补偿光源装置发出的光不参与成像且不与光刻胶发生反应，用于补偿照明系统产生的非对称热像差。本发明是利用LED光源作为补偿光源装置补偿光刻投影物镜非对称像差。LED光源具有光通量大、低功耗、长寿命、低电压、抗震动、安全环保、体积小、重量轻、方向性好，价格低，并可耐各种恶劣条件。LED光源可以与照明光源周期性交替使用，避免曝光时引入不必要的杂散光。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 照明 系统 曝光 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种照明系统，包括照明光源、照明光调整装置以及中继镜组，其特征在于，在所述照明光调整装置中设置补偿光源装置，所述补偿光源装置发出的光不参与成像且不与光刻胶发生反应，用于补偿照明系统产生的非对称热像差。
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