[发明专利]一种非晶态-纳米晶复合结构的石墨烯掺杂透明导电氧化物薄膜及其制备方法

摘要

一种非晶态‑纳米晶复合结构的石墨烯掺杂透明导电氧化物薄膜及其制备方法，属于透明柔性显示技术领域。利用石墨烯掺杂和控制调整平均配位数方法，通过溶胶凝胶法制备石墨烯掺杂铟镓锌氧化物薄膜的工艺，寻找成本低廉、高迁移率透明导电氧化物薄膜，整体薄膜制备为纳米晶‑非晶混合晶态。本发明操作简单，不易引入杂质，制备温度低，制备条件容易控制，所制备的纳米晶‑非晶复合结构的石墨烯掺杂铟镓锌氧化物透明导电薄膜迁移率高、成本低廉，响应时间快，具有较好的柔韧性和透明度，为透明柔性显示器件提供材料支持和工艺改进。

主权项

1.一种非晶态‑纳米晶复合结构的石墨烯掺杂铟镓锌氧化物柔性透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，将氧化石墨烯水溶液超声加热还原成石墨烯纳米片，加热温度和还原剂配比控制石墨烯纳米片尺寸，反复离心洗至中性水溶液，超声打散，并加热至得到石墨烯纳米颗粒备用；步骤2，将InCl₃、Zn(OAC)₂、GaCl₃的试剂溶解在乙二醇溶液里加热搅拌至无色透明，得到铟镓锌氧溶胶混合；步骤3，将石墨烯纳米颗粒与铟镓锌氧溶胶混合，所得无色透明溶液在水浴中超声加热搅拌至溶胶状；步骤4，将步骤3所得透明溶胶通过旋涂仪在基底上进行旋涂，然后进行退火，反复进行多次旋涂和退火，在基底上制成柔性纳米级透明导电薄膜。