[发明专利]承载台及烘烤机有效
| 申请号： | 201710744726.X | 申请日： | 2017-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN107339894B | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 李任鹏;米田公太郎 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | F27D5/00 | 分类号： | F27D5/00;G09F9/00 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰;顾楠楠 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种承载台，包括一具有电磁吸附的载台、设于载台表面的可移动的多个顶针，所述载台通过电磁吸附的方式将顶针吸附固定于载台的表面上。本发明还提供了一种烘烤机，包括所述的承载台。与现有技术相比，通过采用具有电磁吸附的载台，并在载台上设置可被磁性吸附的顶针，从而满足不同产品规格的要求，使得顶针与基板的接触位置不会出现在AA区域，从而避免在AA区中形成波纹，影响产品品质。 | ||
| 搜索关键词： | 承载 烘烤 | ||
【主权项】：
1.一种承载台，其特征在于：包括一具有电磁吸附的载台(1)、设于载台(1)表面的可移动的多个顶针(2)，所述载台(1)通过电磁吸附的方式将顶针(2)吸附固定于载台(1)的表面上；所述承载台还包括校正装置(3)，所述校正装置(3)包括设于载台(1)其中一侧上方外的第一激光投射器(31)以及设于载台(1)与第一激光投射器(31)相邻一侧上方外的第二激光投射器(32)，所述第一激光投射器(31)和第二激光投射器(32)的光束出射方向与载台(1)的表面平行，且第一激光投射器(31)的光束出射方向与第二激光投射器(32)的光束出射方向垂直，所述第一激光投射器(31)和第二激光投射器(32)分别通过驱动机构(35)驱动其行走。
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