[发明专利]一种电化学抛光方法与电化学抛光装置

摘要

本发明涉及金属表面处理领域，公开了一种电化学抛光方法与装置，电化学抛光方法包括：对金属工件进行初步的电化学抛光；设置一吻合金属工件表面形状的参考面，并使得参考面贴近金属工件的表面；使参考面沿靠近‑远离金属工件的方向振动，同时进行电化学抛光；判定金属工件的表面质量是否达到要求，如果达到要求，终止电化学抛光；如果未达到要求，调整参考面振动时距离金属工件表面的最小距离，并重复步骤S30与步骤S40，以此循环。本发明可以将粘性膜的厚度人为控制在合适的区间，加快金属选择性溶解速度或者延长金属选择性溶解时间，从而可以大大提高工件的表面质量，将工件表面的无论高频还是低频，宏观还是微观的所有波形全部进行整平。